据外媒报道，台积电副董事长兼首席执行官CC We称该公司的5nm计划已步入正轨，这或许意味着他们将有望在2020年第二季度实现5nm关键节点的批量制造。

目前台积电已经增加了其各种节点的支出。预计的投资额为100亿美元，后增加到了140亿至150亿美元。

据悉 台积电的5nm工艺（N5）将在其N7 +和N6工艺上使用的层数更多，将会采用极限紫外光刻（EUVL）。